主要性能指标 I-V 源测量单元 (SMU) ● ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块 ● 100 fA 测量分辨率 ● 选配前端放大器提供了 0.1 fA 测量分辨率 ● 10 mHz - 10 Hz **低频率电容测量 ● 四象限操作 ● 2 线或 4 线连接 C-V 多频率电容单元 (CVU) ● AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t) ● 1 kHz - 10 MHz 频率范围 ● ± 30 V (60 V 差分 ) 内置 DC 偏置源,可以扩展到 ± 210 V (420 V 差分 ) ● 选配 CVIV 多功能开关,在 I-V 测量和 C-V 测量之间简 便切换 脉冲式 I-V **快速脉冲测量单元 (PMU) ● 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道 ● 200 MSa/s,5 ns 采样率 ● ±40 V (80 V p-p),±800 mA ● 瞬态波形捕获模式 ● 任意波形发生器 Segment ARB® 模式,支持多电平脉冲 波形,10 ns 可编程分辨率 高压脉冲发生器单元 (PGU) ● 两个高速脉冲电压源通道 ● ±40 V (80 V p-p),± 800 mA ● 任意波形发生器 Segment ARB® 模式,支持多电平脉冲 波形,10 ns 可编程分辨率 I-V/C-V 多开关模块 (CVIV) ● 在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换,*重新布线或 抬起探针 ● 把 C-V 测量移动到任意端子,*重新布线或抬起探针 远程前端放大器 / 开关模块 (RPM) ● 在 I-V 测量、C-V 测量和**快速脉冲 I-V 测量之间自动 切换 ● 把 4225-PMU 的电流灵敏度扩展到数十皮安 ● 降低电缆电容效应