适用于 高 k/SOI 脉冲 IV 表征的解决方案
精确的 Id-Vd 和 Id-Vg 测量
选通脉宽较小值是 10 ns,上升和下降时间为 2 ns
1 µs 电流测量分辨率
在直流测量和脉冲测量之间轻松切换
支持的分析仪:B1500A、E5270B、E5260A、E5262A、E5263A、4155/56C 和 4155/56B
脉冲 IV 参数测试逐渐成为进行半导体制程开发和半导体器件测试的一项常见要求。较近几年,在更先进制程不断发展的推动下,用户对精确脉冲 IV 测量的需求不断增加。为了满足这些需求,是德科技推出了多种脉冲 IV 参数测试解决方案。它们提供更广泛的脉宽、电压/电流输出和性能。
Keysight B1542A 10 ns 脉冲 IV 参数测试解决方案的脉宽范围是 10 ns 至 1 ms,非常适合对采用高 k 栅介质材料构成的 MOSFET 或在 SOI 晶圆上装配的 MOSFET 进行表征。该脉冲 IV 解决方案允许您使用脉宽为 10 ns、上升和下降时间为 2 ns 的脉冲信号(速度非常快),且信号的过冲和下冲非常低。
该解决方案由电缆、附件和软件组成。如果您拥有其中一款是德科技脉冲发生器或示波器,您可以利用它们来降低整体成本。该解决方案集成了是德科技参数分析有或参数解决方案(B1500A、E5260A/E5270B 系列、4155C 4156C、4155B 和 4156B)。